卓上型 FTM-X20

小型軽量ながら 150mm×150mmの全面膜厚の測定ができる!
卓上に置くタイプの簡単全面膜厚測定機です。

FTM-X20 特徴

  • 固定したカメラと照明の下で、測定物を1回スキャンするだけで膜厚の測定が可能です
  • シンプルな構成で、非常に高速な測定が可能です
  • 視野角方式による独自の演算によって膜厚を算出します

基本仕様

接続図

接続図

ノートPCとUSB接続するだけです!
簡単手軽に全面膜厚が測定ができます。

検査項目: 膜厚値、膜厚ムラ
検査対象: ガラス、金属、シリコンウエハ、フィルム等の上に成膜された透明膜(着色膜は程度により可能)
測定方式: 薄膜の光学干渉を利用した測定方式
測定可能膜厚: 約1μm ~ 10μm程度
測定ピッチ: 1mm×1mm (X×Y)
測定時間: 試料サイズ150mm×150mmで
180秒
光源: RGBW切換え式LED光源
ステージサイズ: 150mm×250mmまで
重量: 約27Kg

 


サンプル評価のご依頼について
弊社では、デモ機を保有しており、ご連絡を頂きましたらスケジュール調整をさせていただいた上で 購入検討を前提のお客様に対して無料でサンプルのご評価をさせていただいております。
>>サンプル評価のご依頼はこちらから

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