インライン型 FTM-8000

大型ガラス基板全面の膜厚分布を短時間で測定!
リアルタイムに膜厚ムラ測定ができる!

FTM-8000 用途: フラットパネルディスプレイの製造工程における成膜後の塗布検査
検査適用例: カラーフィルタのフォトスペーサー、MVA、
オーバーコート塗布後の塗布異常監視
検査対象: 膜厚異常、スジムラ、段ムラ、ピンムラ
特徴: 生産・品質管理の検査用途
設備立ち上げ時の調整用に最適
仕様: 検査対象膜質: 透明膜、R、G、B
膜厚測定レンジ: 1μm ~ 5μm
測定膜厚分解能: 1nm
測定ピッチ(X×Y): 3mm×3mm
測定タクト: 50 秒 (2200mm×2500mm)

サンプル評価のご依頼について
弊社では、デモ機を保有しており、ご連絡を頂きましたらスケジュール調整をさせていただいた上で 購入検討を前提のお客様に対して無料でサンプルのご評価をさせていただいております。
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