製品情報

当社では、FTMシリーズとISシリーズの膜厚測定装置を揃えています。

FTMシリーズは、安心の実績と品質で、多くのお客様に定評をいただいています。
現在開発中のISシリーズでは、従来機のFTMシリーズより、ターゲット膜の適用範囲が広がりました。
また、大幅な低価格を実現しています。
>>くわしくはお問合せください。

超高速全面膜厚測定装置

視野角方式 FTMシリーズ
たとえば8世代のマザーガラス基板全面のレジスト膜厚分布測定なら、6mmの膜厚測定ピッチで、全面測定タクトが、なんと!わずか50秒!
FTMシリーズ
イメージ分光方式 ISシリーズ
イメージ分光方式で膜厚測定。
従来のFTMシリーズより、膜厚の測定範囲が広がり、より多くの膜種に適用できます。さらに高速化、しかも低価格!
ISシリーズ

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