よくある質問

私たちがあなたのお手伝いをさせていただきます

非接触の膜厚測定は、どんなサンプルでも簡単に測定できるというものではありません。
測定が困難なサンプルもありますし、測定できたとしても測定条件等の設定が難しいサンプルもあります。
私たちは光干渉を用いた光学式膜厚測定技術をベースに独自の全面膜厚測定技術を確立し、様々なお客様のサンプルを評価する中で、たくさんのノウハウを積み上げています。

もちろん測定できないサンプルはありますが、まずはご評価させてください。

FAQ

Q1. どのような材質の膜が測定できますか? A1. 基本的には透明、あるいは半透明の膜が測定できます。原理上、光を通さない材質の膜は測定できません。ただし、材質によっては透明でなくても光の波長によっては透過し、結果的に測定できる場合もありますので、まずはご相談ください。
Q2. 膜の下地にパターンがあっても測定できますか? A2. 比較的単純なパターンであれば測定できる場合が多いです。液晶ディスプレイのTFTパターン上のレジストやカラーフィルタパターン上のレジスト膜厚は測定実績があります。
Q3. 感光性材料膜の測定は問題ないか? A3. 問題ありません。感光性膜を測定する場合は500nm以下の波長をカットした光源を使用することが可能です。
Q4. 測定のためにどんな情報が必要ですか? A4. 測定には基本的に下記の情報が必要ですが、わからない場合は現物に合わせてある程度推測することも可能です。お気軽にご相談ください。
1)測定膜の屈折率と吸収係数
2)基板の物性(ガラス、クロム、シリコン等)
Q5. レジストを塗布した直後の膜厚は測定できますか? A5. レジスト塗布直後の膜厚は測定できません。 リアルタイムに刻々と状態が変化していくものの測定はできないと考えてください。レジストであればプリベーク後の測定になります。

 

弊社では、デモ機を保有しており、ご連絡を頂きましたらスケジュール調整をさせていただいた上で 購入検討を前提のお客様に対して無料でサンプルのご評価をさせていただいております。
>>サンプル評価のご依頼はこちらから

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