リアルタイムに形状データ・全焦点画像の取得・処理ができる!!
本装置は、スキャン型の表面形状測定装置です。
マルチフォーカス方式を採用しており、より深い焦点深度の画像が得られます。

特長
- 1回のスキャンで全面を、高速で高精度な測定が可能です。
- センサー部に機械的な可動部分が無く、長寿命・高精度で信頼性の高い測定を実現します。
用途
- 凹凸のある表面形状の検査
- 3次元の高さ測定
- 深い焦点深度の画像取得
検査対象
金属、紙、フィルム、プラスチック など (表面が鏡面状のもの、透明なものは不可)
基本仕様
| レンズ倍率 | ×10 | ×1 |
|---|---|---|
| 測定高さ分解能 | 1μm | 10μm |
| 測定巾 | 1.2mm | 12mm |
| 合焦高さレンジ | 0.6mm | 6mm |
| スキャン速度 | 1mm/sec | 10mm/sec |

