高速全面膜厚測定装置

テクノスの膜厚測定装置は、高速! しかも1回のスキャンで薄膜の全面を測定可能です。

安心の実績と品質で、多くのお客様に定評をいただいているFTMシリーズと、現在開発中のISシリーズをご用意しています。ISシリーズでは、従来機のFTMシリーズより、ターゲット膜の適用範囲が広がりました。また、大幅な低価格を実現しています。

  • 視野角方式 FTMシリーズ
    薄膜面のある点での視野角(=反射光強度)は、膜表面からの反射光と膜裏面からの反射光の干渉によって、その点での膜厚固有の視野角特性を示します。この視野角特性を利用して全面膜厚を算出しています。
    カラーフィルタのフォトスペーサー、MVA、オーバーコート塗布後の塗布異常監視に。
  • イメージ分光方式 ISシリーズ
    こちらは、膜厚固有の波長特性(分光特性)を利用して、薄膜全面の膜厚を算出します。
    ガラス、金属、シリコンウエハ、フィルム等の上に成膜された透明膜が測定対象です。

さらに詳しくは、「全面膜厚測定ならテクノス」ページをご覧ください。

薄膜サンプル評価のご依頼について
弊社では、デモ機を保有しており、ご連絡を頂きましたらスケジュール調整をさせていただいた上で 、購入検討を前提のお客様に対して無料でサンプルのご評価をさせていただいております。
サンプル評価のご依頼はこちらから

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