全面膜厚測定ならテクノス

1度の撮像で、測定物1ライン分の膜厚を算出し、 測定物をスキャンすることで測定物全面の膜厚を測定します。

ラインスキャン式膜厚測定

ポイント式の多層膜測定が可能な小型プローブ膜厚モニタシステムも提案できます。

特長

  • イメージ分光式のカメラを使用し、大面積の膜厚分布を短時間で測定します。
  • 薄膜から厚膜まで、また多層膜(3層)の膜厚にも対応します。
  • 用途に合わせてシステム構成を選択可能です。
  • 測定膜厚を2Dマッピングする事で、塗布コンディション、欠陥パターンを可視化でき、問題解決が直感的にスピーディーに行えます。

解析例

ガラス基板上のフォトレジスト膜 (例1)

ゲートパターン上に形成されたレジスト膜(3.75μm)の膜厚測定例(測定ピッチ約0.5mm)

イメージ分光膜厚測定例1

ガラス基板上のフォトレジスト膜(例2)

Crコーティングされたガラス基板上のフォトレジスト膜(2.0μm)の膜厚測定例。図右は、「測定結果」画面の表示です。

イメージ分光膜厚測定例2

卓上型測定機の概略仕様

膜厚測定方式 白色干渉法
膜厚測定範囲 0.1μm~2μm(相関法)、2μm~15μm(FFT法)
膜厚測定分解能 1nm
膜厚測定速度 600点/秒(相関法)、  6000点/秒(FFT法)
試料サイズ 測定幅300mm・測定長さ400mmまで
測定幅/測定スポット径 撮影条件により変更可能 (例)測定幅300mm/測定スポット径0.5mm
光源 白色ハロゲンランプ

サンプル評価のご案内

私たちは光干渉を用いた光学式膜厚測定技術をベースに、独自の全面膜厚測定技術を確立し、様々なお客様のサンプルを評価する中で、たくさんのノウハウを積み上げています。測定できないサンプルもありますが、まずはご評価させてください。お問い合わせはこちら

よくある質問

  1. どのような材質の膜が測定できますか?
    A. 基本的には透明、あるいは半透明の膜が測定できます。原理上、光を通さない材質の膜は測定できません。ただし、材質によっては透明でなくても光の波長によっては透過し、結果的に測定できる場合もありますので、まずはご相談ください。
  2. 膜の下地にパターンがあっても測定できますか?
    A. 比較的単純なパターンであれば測定できる場合が多いです。液晶ディスプレイのTFTパターン上のレジストやカラーフィルタパターン上のレジスト膜厚は測定実績があります。
  3. 感光性材料膜の測定は問題ないか?
    A.問題ありません。感光性膜を測定する場合は500nm以下の波長をカットした光源を使用することが可能です。
  4. 測定のためにどんな情報が必要ですか?
    A. 測定には基本的に次の情報が必要ですが、わからない場合は現物に合わせてある程度推測することも可能です。お気軽にご相談ください。
    1)測定膜の屈折率と吸収係数
    2)基板の物性(ガラス、クロム、シリコン等)
  5. レジストを塗布した直後の膜厚は測定できますか?
    A. レジスト塗布直後の膜厚は測定できません。 リアルタイムに刻々と状態が変化していくものの測定はできないと考えてください。レジストであればプリベーク後の測定になります。

購入検討を前提のお客様に対して、無料でサンプルの評価をさせていただいております。イメージ分光式測定機は、膜厚測定のみならず、色調測定、近赤外域の分光データを利用した測定にも適しています

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