ガラス基板パターン検査装置

基板および基板上のチップ配線パターン(オープン/ショート欠陥)、異物の有無を検査します。

基本仕様

パターン外観検査

Model:pk-1210

 ワークサイズ: 100×120mm

 検査タクト:  約1秒/1チップ

 欠陥検出分解能: 30μm以上

 NGマーキング機能あり

 クリーンルーム仕様 (クラス1000)

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