イメージ分光方式を用いて、全面の膜厚分布を高速、高精度に測定します。
特長
| ステージの上にサンプルを置いて、測定スタートすれば自動的にスキャンし、全面の膜厚分布が高速に測定できます。 | |
 |
|
測定原理
膜表面からの反射光と膜裏面からの反射光の干渉により反射光強度は、膜厚固有の波長特性を示します。
測定対象
ガラス、金属、シリコンウエハ、フィルム等の上に成膜された透明膜
※着色膜は程度により測定可能です。お問合せください。
基本仕様
| 測定方式： | 薄膜の光学干渉を利用した測定方式 |
| 測定可能膜厚： | 約0.1μｍ～１０μｍ程度 |
| 測定分解能： | 2ｎｍ |
| 測定ピッチ： | 0.15ｍｍ～ 2ｍｍ |
| 測定速度： | 0.15ｍｍ/sec～30ｍｍ/sec |
| ステージサイズ： | 300ｍｍ×360ｍｍ |
| 重量： | 約５０Ｋｇ |
測定例
ガラス基板上のフォトレジストを測定した例
