視野角方式 FTMシリーズ

型ガラス基板の生産ライン向け膜厚測定装置から、卓上タイプの簡易システムまで、
実績と信頼のFTMシリーズ
です。

大面積全面の膜厚をリアルにモニター

カメラを傾けた状態で測定物をスキャンします。撮像した画像から、連続視野角画像を作成し、膜厚を算出します。
測定原理については技術紹介をご覧ください。

 

FPD向けインライン全面膜厚モニター
FTM-8000

たとえば8世代のマザーガラス基板全面のレジスト膜厚分布測定。なんと!! 6mmの膜厚測定ピッチで、全面測定タクトが50秒!FTM-8000
卓上型全面膜厚測定装置
FTM-X20

小型、軽量。ノートPCとUSB接続するだけで、簡単手軽に全面膜厚が測定ができます。FTM-X20

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