当社では、FTMシリーズとISシリーズの膜厚測定装置を揃えています。
FTMシリーズは、安心の実績と品質で、多くのお客様に定評をいただいています。
現在開発中のISシリーズでは、従来機のFTMシリーズより、ターゲット膜の適用範囲が広がりました。
また、大幅な低価格を実現しています。
>>くわしくはお問合せください。
超高速全面膜厚測定装置
| 視野角方式 FTMシリーズ たとえば8世代のマザーガラス基板全面のレジスト膜厚 分布測定なら、なんと！6mmの膜厚測定ピッチで、 全面測定タクトが50秒！
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イメージ分光方式 ISシリーズ イメージ分光方式で膜厚測定。従来のFTMシリーズ より、応用範囲は広がり、しかも低価格を実現！
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