全面膜厚測定

テクノスの膜厚測定装置は、高速! しかも1回のスキャンで全面を測定可能です。

膜厚測定のお悩みを、テクノスが解決します!

薄膜全面の膜の塗布品質あるいは成膜品質の管理方法についてお悩みではありませんか?

あなたは膨大な時間をかけてポイント式膜厚計をスキャンしながら膜厚分布の計測作業を行い、
“やっと全面の膜厚分布が測定できた”と思ったのに“測定が失敗していた”というような経験はありませんか?
また、測定は成功したけれど“この膜厚分布は正しいのだろうか?“、”もう少し測定ピッチを細かくしてみよう”と 何度も測定をやり直した経験はありませんか?
そして、大面積もしくはフィルム等の流れ物の全面の膜厚をリアルにモニターすることなんて、そもそもできるはずがないと思いあきらめていたと言う方、私たちにそんなお悩みを解決できる独自技術があります。

技術紹介

瞬時に膜厚分布を測定してしまう弊社だけの独自技術を紹介します。
膜ムラはもちろん、全面の膜厚分布を瞬時に測定できます。
>>測定技術の詳細はこちら

製品情報

FTMシリーズ
たとえば8世代のマザーガラス基板全面のレジスト膜厚分布測定なら、6mmの膜厚測定ピッチで、全面測定タクトが、なんと!わずか50秒!
FTMシリーズ
ISシリーズ
イメージ分光で膜厚測定。従来のFTMシリーズより、膜厚の測定範囲が広がり、より多くの膜種に対応。さらに高速化、しかも低価格!
ISシリーズ

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