テクノスの膜厚測定装置は、高速!　しかも１回のスキャンで全面を測定可能です。

膜厚測定のお悩みを、テクノスが解決します！

薄膜全面の膜の塗布品質あるいは成膜品質の管理方法についてお悩みではありませんか？

あなたは膨大な時間をかけてポイント式膜厚計をスキャンしながら膜厚分布の計測作業を行い、
“やっと全面の膜厚分布が測定できた”と思ったのに“測定が失敗していた”というような経験はありませんか？
また、測定は成功したけれど“この膜厚分布は正しいのだろうか？“、”もう少し測定ピッチを細かくしてみよう”と 何度も測定をやり直した経験はありませんか？
そして、大面積もしくはフィルム等の流れ物の全面の膜厚をリアルにモニターすることなんて、そもそもできるはずがないと思いあきらめていたと言う方、私たちにそんなお悩みを解決できる独自技術があります。

技術紹介

瞬時に膜厚分布を測定してしまう弊社だけの独自技術を紹介します。
膜ムラはもちろん、全面の膜厚分布を瞬時に測定できます。
>>測定技術の詳細はこちら

製品情報

FTMシリーズ たとえば8世代のマザーガラス基板全面のレジスト膜厚分布測定なら、6mmの膜厚測定ピッチで、 全面測定タクトが、なんと！わずか50秒！

ISシリーズ イメージ分光方式で膜厚測定。従来のFTMシリーズより、適用範囲は広がり、しかも低価格を実現！

トピックス

膜厚測定関連のトピックスです。

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2011/12/12	12/7（水）～12/9（金）国際画像機器展2011開催 多くの方にお越しいただき、また貴重なご意見を賜りました。 心より御礼申し上げます。 出品内容： マルチフォーカス外観検査装置 イメージ分光方式膜厚測定装置
2011/11/21	今年も、国際画像機器展に出展します。 ブース７４でお待ちします。
2010/12/13	国際画像機器展2010に、イメージ分光方式膜厚測定装置を出展しました。 多くの方にお越しいただき、心より御礼申し上げます。
2010/6/18	「平成22年度戦略的基盤技術高度化支援事業」に採択されました！ タイトル：　「イメージ分光方式を用いた超高速全面膜厚測定技術の開発」