Vol.31　2016年1月号
◆奈良のテクノスよりお知らせ◆
2016/1/16

本年もよろしくお願い申し上げます。



2015年「関西経済の現状と今後の見通し」について、近畿経済産業局のＨＰから

https://www.kansai.meti.go.jp/E_Kansai/page/201501/02.html



上記によると、関西地域の経済規模は全国に対して概ね2割程度、韓国と並ぶ

ＧＤＰだそうです。

※県別ＧＤＰでは、東京がだんとつトップ、大阪2番目、3番目に愛知となってい

ます（2011年）。

産業構造では、全国と同じく第3次産業が3/4を占めていますが、特徴的なのは製

造業において、化学、鉄鋼、金属製品などの生産量が多く、基礎素材型産業の比

率が高いことです。

また、貿易統計によると、全国ではアメリカ向け輸出額が最も高いのに対し、関

西では中国向けが高くなっています。関西は中国との結びつきが強いんですね。



最新動向は、

「近畿地域の経済は、改善の動きがみられるものの、一部に足踏み状態」。

　　生産：横ばい傾向

　　個人消費：一部に弱い動きがみられるものの、持ち直している

　　設備投資：持ち直している

　　輸出：緩やかに改善しつつある

　　雇用：緩やかに改善している

2014年は消費税率引き上げ前の駆け込み需要の反動減や物価上昇による実質所得

の減少でマイナス成長でしたが、2015年はプラス成長に転じると予想されています。



2015年10月から予定されていた消費税再増税は2017年4月に延期されました。



今年1年、よい年でありますように。





今月は、膜厚測定技術の紹介です。



□■　今月の内容━━━━━━━━━━━



１．膜厚測定技術について

２．編集後記



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┃１ ┃膜厚測定技術について

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これまで何度か紹介している弊社の膜厚測定装置ですが、今回はちょっと踏み込

んで測定原理について紹介します。



■膜厚測定装置（FTMシリーズ）

�@ワークを移動させることで、測定物を一度にスキャン

�A測定物の各ポイントについて視野角の反射スペクトルを作成し、膜厚を算出



特長：全面膜厚を高速測定

　・FTM（視野角方式）シリーズの例

　　　測定膜厚分解能：1nm、測定ピッチ(X×Y)：3mm×3mmの場合、

　　　サイズ2200mm×2500mmの基板で、約60万点を、50秒で測定



【測定原理（視野角方式）】

基材上の薄膜サンプルに対して、光を照射した場合、膜表面からの反射光と膜裏

面からの反射光の干渉により、その反射光は膜厚固有の反射スペクトルを示しま

す。この特性を利用して膜厚を算出します。



【この方式の問題点】

一般に、反射スペクトルにおいて膜厚が厚いほど周波数が高くなり、薄くなると

低くなるといった特性があります。薄いと周期の一部しか表示されない場合もあ

ります。近年の薄膜化に伴い、ナノスケール薄膜に対応する必要がでてきました。

　

【偏光視野角方式】

P偏光の反射率が極小となる偏光角と膜厚が相関関係にあることを利用して、膜

厚を算出します。

100nm以下の極薄膜の膜厚測定に。

測定時に波長フィルタを用いることで、FTMシリーズの装置構成をそのまま応用

できます。



膜厚測定は、基材と膜の材質に依存します。

詳しくはお問合せください。

　・メールから　info@tecnos-net.co.jp

　・お電話から　0742-30-2568（営業窓口）

　・ＦＡＸから　0742-36-3052　





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┃２ ┃編集後記

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今年の元旦は、強い寒気に覆われ、各地で大雪が降りました。

福袋を買いに最寄りのショッピングモールへ出かけたのですが、2時間後帰ろう

と外に出ると駐車場の車は真っ白、路面はシャーベット状。あれま！帰れるんだ

ろうか？と思いつつ、駐車場を出るのに1時間近くもかかってしまいました。

一般道は大したこともなく、無事帰宅。やれやれ．．．



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